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MDPlinescan在線少子壽命測(cè)試儀靈活的OEM少子壽命測(cè)試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測(cè)量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長(zhǎng)的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口，便于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

MDPmap被設(shè)計(jì)成一個(gè)緊湊的臺(tái)式非接觸電學(xué)表征工具，用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)（μ-PCD）下，在一個(gè)寬的注入范圍內(nèi)測(cè)量參數(shù)，如載流子壽命、光導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應(yīng)各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓。

弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測(cè)儀--少子壽命）系列主要用于測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測(cè)和無(wú)損成像（μPCD /MDP（QSS））的設(shè)計(jì)*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用?？梢哉f(shuō)，MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測(cè)儀--少子壽命測(cè)試）是一個(gè)緊湊的離線臺(tái)式檢測(cè)設(shè)備，主要被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)下（μ-PCD）。

德國(guó)弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)儀）是一款靈活的OEM設(shè)備，可以用于多種不同樣品的在線壽命測(cè)量：從單晶到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。配置標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測(cè)儀--少子壽命檢測(cè)）是一種用于快速定量測(cè)量載流子壽命并集成掃描功能的檢測(cè)儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，就可以“動(dòng)態(tài)”測(cè)量出晶圓圖。該儀器可為每個(gè)晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，有效提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實(shí)時(shí)質(zhì)量檢測(cè)可以提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。